金融界2025年7月22日消息,国家知识产权局信息显示,环诚智能装备(成都)有限公司申请一项名为“一种用于真空腔室的对位机构及晶圆对位系统”的专利,公开号 CN120356861A,申请日期为2025年06月。
专利摘要显示,本发明公开了一种用于真空腔室的对位机构及晶圆对位系统,真空腔室内设有晶圆,对位机构包括定位件、动力组件、动力传递部件以及密封单元;定位件设于真空腔室内部;动力组件设于真空腔室外部;动力传递部件用于将动力组件的动力传递至定位件,以使定位件做靠近或远离晶圆的往复运动;密封单元与真空腔室的外壁、动力组件相连并套设于动力传递部件的外部。本发明通过将动力组件外置于真空腔室,并采用动态密封的动力传递部件实现定位件的往复驱动,既避免了传统内置直线驱动器导致的真空污染和密封难题,又简化了真空腔室内部结构,同时显著提升了设备的维护便利性和长期运行可靠性,为高洁净度要求的晶圆键合工艺提供了更优的解决方案。
天眼查资料显示,环诚智能装备(成都)有限公司,成立于2022年,位于成都市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2129.714286万人民币。通过天眼查大数据分析,环诚智能装备(成都)有限公司参与招投标项目2次,专利信息21条,此外企业还拥有行政许可3个。